薄膜

その機能と応用

日本規格協会
金原粲　

• 価格: 3,418円（本体3,107円＋税）
• 発行年月: 1991年04月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784542301245

内容情報

[BOOKデータベースより]

１　概論（薄膜とは；薄膜の特徴；用途；表面改質）
２　薄膜化の基本技術（薄膜形成のための各種の方法；物理気相成長法；化学気相成長法；液相エピタキシ法）
３　薄膜の機能と設計（エレクトロニクス；オプトエレクトロニクス；磁気・記録媒体；光学コーディング；トライボロジ）
４　薄膜の試験法（摩耗・硬さ；耐候・耐光・耐食性；耐熱・耐湿性；耐放射線性）
５　薄膜技術と新材料（酸化物超伝導体薄膜；ダイヤモンドとｃＢＮ薄膜；人工格子）