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価格：3,960円（本体3,600円＋税）
【2022年09月発売】
価格：1,210円（本体1,100円＋税）
【2011年06月発売】
価格：649円（本体590円＋税）
【2009年08月発売】
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[BOOKデータベースより]
１ ディープサブミクロンＣＭＯＳ技術
２ 不揮発性半導体メモリに要求される酸化膜の信頼性
３ 光リソグラフィの高解像度化技術
４ ＥＣＲプラズマによる微細加工技術
５ 高周波高密度プラズマの生成と高速・高選択比ＳｉＯ２／Ｓｉエッチング
６ 半導体プロセスにおけるチャージアップ
７ サブハーフミクロン多層配線技術
８ 単結晶Ａｌ配線技術
９ Ｓｉ（１１１）表面への水素原子吸着と平坦化