ナノ電子光学

共立出版
裏克己　

• 価格: 5,280円（本体4,800円＋税）
• 発行年月: 2005年06月
• 判型: Ａ５
• ISBN: 9784320086203

内容情報

[BOOKデータベースより]

均一な静電・磁界中の電子軌道
電界および磁界
回転対称電磁界中の近軸軌道とその特性
回転対称電磁界によるレンズ収差
空間電荷効果
初速度分布の効果と電流密度分布
位相図とビーム径方程式
４極子レンズ
偏向器
プリズムと分光器
電子銃
イオン源
パルスビームと走行時間効果
変分法による軌道解析
収差理論
対物レンズの収差補正

[日販商品データベースより]

近年、電子ビーム、イオンビームは超微細加工を行うプロセス技術として、また走査電子顕微鏡などの分析・測定技術としてナノテクノロジーの基盤技術となっている。本書は、これら技術の基礎となる電子・イオンビームの軌道理論を具体例に即して体系的に解説した。