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価格：660円（本体600円＋税）
【2011年01月発売】
価格：2,090円（本体1,900円＋税）
【2010年09月発売】
価格：748円（本体680円＋税）
【2012年04月発売】
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[BOOKデータベースより]
ポスト１００ｎｍ時代を担うプロセス・装置・材料技術のリーディングエッジを完全カバー。
総論―ポスト１００ｎｍ時代に向けてのブレークスルー
リソグラフィ技術
フロントエンドプロセス
バックエンドプロセス
洗浄技術
前工程検査・測定技術
アセンブリ・パッケージ技術
テスティング技術